SMART-3100
単結晶PZTの成膜ができる、弊社独自で開発した装置。多チャンバー式スパッタ装置のため、バッファー層から圧電膜まで連続成膜が可能です。また、ウェハーサイズはφ6インチ・φ8インチ対応可能で、デバイス用途に合った材料組成のPZTを作ることができます。
弊社で保有しております成膜装置、検査装置についてご紹介いたします。成膜装置は、正に弊社の心臓部。弊社の独自技術に基づいた単結晶薄膜を製造するために、成膜装置自体も独自に開発し、日々改良が続いております。また、成膜品の品質を保証するため、XRD装置をはじめ様々な検査装置を導入しております。
膜厚の均一性や結晶性といった基礎データについては弊社内の検査装置を使ってデータの取得、管理をしておりますが、弊社内の検査装置で得られないデータのご要望がございましたら、外部機関等を利用して対応いたしますのでご相談ください。
成膜装置
検査装置・品質保証（ISO9001）
検査装置 Ｘ線回折装置 XRD（2台）
全自動多目的Ｘ線回折装置SmartLabによって薄膜材料の測定が可能な装置です。一辺の長さ、半値幅、結晶性などを確認でき、製品の結晶度を細かく測定できます。多角的結晶構造解析も行うことができます。
検査装置 蛍光Ｘ線分析装置 XRF
AZX400は 半導体薄膜測定が可能な波長分散型蛍光X線分析（WDX）装置です。エネルギー分散型蛍光X線分析（EDX）方式に比べ、高精度な分析を実現しています。半導体材料として重要なB、C、N、Oを含む、Be～Uまでの全元素を1台でカバーします
KRYSTAL装置リスト
成膜装置
- ● SMART-3100
- ● SPARC-3100S
検査装置
- ● X線回析装置 XRD（2台）
- ● 蛍光X線分析装置 XRF
- ● 薄膜応力測定装置 FLX-2320-R
- ● d31（レーザー変位）測定機器
- ● d33測定器
- ● 強誘電体特性（ヒステリシス）測定器
- ● デジタルマイクロスコープ VHX-7000
ISO9001
