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KRYSTALではPZT単結晶膜の成膜サービスの他に成膜品の販売も行っています。
PZT成膜にあたり、土台となる下地電極膜、ZrO₂/Pt膜、ZrO₂/Pt/SRO膜も販売しておりますので、お客様にてこれらの下地電極基板をご利用のうえ、PZT以外の圧電体を成膜いただくことも可能です。また、お客様からのご要望により、PZT膜の上に上部電極膜(Pt膜またはPt/SRO膜)を成膜したものも提供しております。

アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社

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