JEITA規格、SEMI規格の両方に対応しております。
成膜装置の標準基板サイズが8インチであるため、SiC製のサイズ変換トレイを使用して成膜を行います。

JEITA規格、SEMI規格の両方に対応しております。
成膜装置の標準基板サイズが8インチであるため、SiC製のサイズ変換トレイを使用して成膜を行います。

JEITA規格、SEMI規格の両方に対応しております。