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JEITA規格、SEMI規格の両方に対応しております。 成膜装置の標準基板サイズが8インチであるため、SiC製のサイズ変換トレイを使用して成膜を行います。
JEITA規格、SEMI規格の両方に対応しております。
小片チップやウェハーの破片等に成膜をご希望の際はご相談ください。
アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社